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分析了传统牺牲层材料铝在制备LaB6场发射阵列时存在的问题，利用溅射及热蒸发工艺依次制备铝膜和氧化锌膜，制备出了一种新型的牺牲层——ZnO-Al复合牺牲层，并对所制备的阵列进行了测试。实验结果表明：ZnO-Al复合牺牲层能够有效地解决电化学腐蚀的问题，所制备出的LaB6场发射阵列尖锥保持了完好的形貌，其发射特性也达到了最初制备场发射阵列的要求，说明ZnO-Al复合牺牲层是作为LaB6场发射阵列牺牲层的理想材料。