论文部分内容阅读
为了提高检测微机电系统（micro-electro-mechanical systems, MEMS）结构谐振频率的准确性，笔者针对湿汽对MEMS微结构影响的问题，进行了实验设计，并分析了MEMS微结构在振动载荷下谐振频率的变化特性．结果表明，振动初期谐振频率的变化是由于MEMS微结构吸附及解吸附湿汽的作用造成的，而并非是由结构刚度的变化引起的．因此，利用谐振频率检测结构参数变化的实验中，考虑环境湿度的影响十分必要．