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目前半导体和磁盘驱动器洁净室担心的最大的问题是悬浮分子污染.悬浮的分子污染包括酸、碱、凝聚化合物和搀杂剂,它们导致许多半导体在生产步骤中产量的减少,如预氧化、硅铝化、触点成型和深紫外线光学微影术.随着线性尺寸逐渐变小,分子污染的影响更大了.这篇文章将回顾一下工业上传统的解决悬浮分子污染的方法,并且讨论一种新开发的迎合新工业要求的微细玻璃纤维滤材。