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定位测量与控制系统是精密仪器中的一个重要组成部分,特别是对高精度的仪器尤为重要。精密工作台光栅定位测量与控制系统是一种包括激光干涉仪、光栅、线纹尺、感应同步器、磁栅及码盘等多个元器件组成的精确的定位测量与控制系统系统。
精密工作台光栅定位测量与控制系统的设计
【摘 要】
：
定位测量与控制系统是精密仪器中的一个重要组成部分,特别是对高精度的仪器尤为重要。精密工作台光栅定位测量与控制系统是一种包括激光干涉仪、光栅、线纹尺、感应同步器、
【机 构】
：
中国计量学院
【出 处】
：
电子测试
【发表日期】
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2007年01期
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