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本文讨论了影响TiO2薄膜光催化活性的主要因素：（1）TiO2薄膜的厚度与镀膜次数有较好的线性关系;TiO2薄膜的比表面积越大,孔隙、孔体积越小,孔径分布越均匀,其催化活性越高;（2）贵金属沉积可提高TiO2薄膜光催化剂表面光生载流子的分离效率,有利于生成更多的·OH;（3）金属离子掺入TiO2薄膜晶格中可能引起晶格位置缺陷或改变结晶度,抑制电子与空穴的复合,延长载流子的寿命,从而使光催化性能得以改善。