硅微透镜阵列与红外焦平面阵列的单片集成

来源 :华中科技大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chenshuae9o
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基于标量衍射理论,考虑焦距长度与微透镜尺寸的关系,提出了一种新的制作二元光学衍射微透镜的方法——部分刻蚀法.利用这种方法制作了256×256硅微透镜阵列,并将其与PtSi红外焦平面阵列单片集成在一起,使红外焦平面阵列的灵敏度R和比探测率D*都提高了1.7倍.
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