【摘 要】
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综述了多重图形技术的研究进展,简述了多重图形技术的目的和意义。首先,按照技术特征,将多重图形技术分为纯间距分离技术、纯间距分割技术和间距分离分割混合技术。然后,介绍
【机 构】
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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,
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综述了多重图形技术的研究进展,简述了多重图形技术的目的和意义。首先,按照技术特征,将多重图形技术分为纯间距分离技术、纯间距分割技术和间距分离分割混合技术。然后,介绍了三种多重图形技术的代表性工艺流程,并展开介绍了纯间距分割技术。最后,从工艺效果、成本评估和适用范围等方面比较了各种技术的优劣,给出了多重图形技术选择的建议,并对多重图形技术的趋势进行了展望,指出纯间距分割多重图形技术,将是实现40 nm以下间距的最优途径。
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