铌酸锂干法刻蚀的研究进展

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：janbchang

【摘要】

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【作者】

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要彦清李金洋吴建杰陈方祁志美

【出处】

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微纳电子技术

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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集成光学光学器件铌酸锂干法刻蚀反应离子刻蚀

【基金项目】

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国家自然科学基金资助项目(61078039);中国科学院“百人计划”择优支持资助项目

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