【摘 要】
：
利用平板电容耦合式PECVD设备淀积TiSi_2薄膜,经800℃,30分钟的扩散炉退火,TiSi_x形成稳定的TiSi_2.用俄歇电子能谱和X射线衍射来监测硅化物的形成.用扫描电子显微镜观察了Ti
【机 构】
：
西安电子科技大学,西安电子科技大学,西安电子科技大学
论文部分内容阅读
利用平板电容耦合式PECVD设备淀积TiSi_2薄膜,经800℃,30分钟的扩散炉退火,TiSi_x形成稳定的TiSi_2.用俄歇电子能谱和X射线衍射来监测硅化物的形成.用扫描电子显微镜观察了TiSi_2薄膜的等离子刻蚀情况.分别采用I—V法和C—V法测量了TiSi_2/Si接触的肖特基势垒高度.利用圆形传输线模型外推法求得了TiSi_2/Si引的接触电阻率,这比同样条件下Al/Si的接触电阻率低一个数量级以上.
TiSi_2 thin films were deposited by means of flat-plate capacitively coupled PECVD equipment and annealed by diffusion furnace at 800 ℃ for 30 minutes. TiSi_x formed stable TiSi_2. The formation of silicide was monitored by Auger electron spectroscopy and X-ray diffraction. Scanning electron microscopy The plasma etching of TiSi_2 thin film was observed.The Schottky barrier height of TiSi_2 / Si contact was measured by I-V method and C-V method respectively.The extrapolation method of TiSi_2 / Si Contact resistivity, which is more than an order of magnitude lower than the contact resistivity of Al / Si under the same conditions.
其他文献
Aim: To evaluate long term results after transpupillary thermotherapy (TTT) in eyes with exudative age related macular degeneration. Methods: In a prospective c
多年以前的一个晚上，有位年轻的母亲正在厨房里洗碗，她才几岁的小儿子独自在洒满月光的后院玩耍。年轻的母亲不断听到儿子蹦蹦跳跳的声音，感到很奇怪，便大声问他在干什么。天真无邪的儿子也大声回答：“妈妈，我想要跳到月亮上去！”这位母亲并没有像其他的父母一样责怪儿子不好好学习，只知道一味瞎想，而是说：“好啊！不过一定要记得回来呀！” 这个小孩长大以后真的“跳”到月球上去了，他就是人类历史上第一个登上月球的
一日,墨子外出时,遇到一个十八九岁的青年,头脑清晰,身体强壮,就想收他做自己的学生.于是他对青年说:“你跟我好好学吧,学好了,我介绍你去做官.rn这个青年将墨子的话牢记在心
我生平只看过一回满月。但我也安慰自己说，我行过许多地方的桥，看过许多次数的云，喝过许多种类的酒，却只爱过一个正当最好年龄的人，我应该为自己感到庆幸…… ——《湘行散记》 我用手去触摸你的眼睛。太冷了。倘若你的眼睛这样冷，有个人的心會结成冰。 生命都是太脆薄的一种东西，并不比一株花更经得住年月风雨，用对自然倾心的眼，反观人生，使我不能不觉得热情的可珍，而看重人与人凑巧的藤葛。在同一人事上，第二
政务服务是办公室的主要职责。能否为各级党委政府提供优质高效的政务服务,是衡量办公室服务水平高低的一个重要标准。为进一步提升政务服务水平,我们始终突出调查研究、情况
最近,国际货币基金组织预测,受全球宏观经济形势的不利影响,撒哈拉以南非洲地区的经济增长将放缓,增长率从2007年的6.5%放缓至2008年和2009年的6%左右。同时,通货膨胀形势严
本文报导光折变立方晶体中的双光束耦合的理论分析和实验研究,讨论了具有闪锌矿结构和具有非中心对称的43m立方晶体中的双光耦合,立方晶体具有(ε_w)_(ij)=n~2δ_j和非零电
杨树是我省主要的速生造林树种之一,它具有分布广、适应性强、繁殖容易、成活率高、轮伐期短、在短期可以获得大量的木材等特点。因此,加速繁育杨树良种,努力实现杨树良种化
根据农林部指示和藏革发77(13)号文件精神,今年我队协助西藏自治区林调队完成全区森林资源清查任务。这次清查工作积极采用新技术,充分利用已有资料,针对各地资料情况和森林
今年两会,我仍最关注民族地区中小学生的教育问题。在我看来,民族地区中小学生成长正面临一个重大制约——阅读视野不够。曾经,我们把阅读当作陶冶学生情操的重要手段。然而,