微型继电器与硅材料

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第十五届阿尔贝特-凯尔-电接触研讨会*讨论了信息技术进步中微型开关的研究发展情况.其中微型继电器由于采用硅材料作驱动元件而使继电器进一步微型化.本文简要介绍新的微驱动器构造原理和制造工艺,以及硅微型开关与其它微型开关的比较.
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