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基于半导体行业发展迅速,电子器件生产工艺流程复杂,大量酸、碱及有机溶剂和特殊气体的使用导致废气的产生和排放,对大气影响突出,阐述半导体行业废气来源和排放特征,探讨工艺制程和生产排污状况,半导体行业末端废气处理的技术措施.
半导体行业废气的排放特征和处理技术
【摘 要】
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基于半导体行业发展迅速,电子器件生产工艺流程复杂,大量酸、碱及有机溶剂和特殊气体的使用导致废气的产生和排放,对大气影响突出,阐述半导体行业废气来源和排放特征,探讨工艺制程和生产排污状况,半导体行业末端废气处理的技术措施.
【机 构】
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格林斯达(北京)环保科技股份有限公司,北京 100176;北京石油化工学院 新材料与化工学院,北京 102617
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2021年12期
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