抗高过载微压传感器

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【摘要】

：

在提高微压传感器灵敏度的研究过程中 ,会遇到非线性和稳定性变差、过载能力不够以及静电封接时背岛与玻璃粘接造成器件失效等现象。提出了应力匀散结构和两层岛的限位结构 ,

【作者】

：

尹颢杨恒王文襄沈绍群鲍敏杭

【机构】

：

复旦大学电子工程系传感器研究室,宝鸡秦岭晶体管厂

【出处】

：

传感器技术

【发表日期】

：

2001年04期

【关键词】

：

微压传感器过载能力非线性灵敏度无掩模腐蚀应力匀散

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在提高微压传感器灵敏度的研究过程中 ,会遇到非线性和稳定性变差、过载能力不够以及静电封接时背岛与玻璃粘接造成器件失效等现象。提出了应力匀散结构和两层岛的限位结构 ,利用有限元分析和近似解析分析 ,设计了新的双岛 -梁 -膜结构 ,成功地研制出抗高过载微压传感器。量程为 0 .3kPa ,总精度为 0 .4% ,过载能力 >140倍满量程

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