论文部分内容阅读
提出了一种新颖的用于测量微结构力学性能的弯曲测试法——微射流驱动的弯曲测试法(microjet-driving microbending test method,JDBT)。该方法利用气体微射流连续冲击微结构,使之发生弯曲变形,通过获取结构的尺寸参数和形变位移,并代入结构的变形公式,从而反解出材料的力学性能参量。利用动量定理推导了微射流作用力公式,对某型号石英摆片式加速度计的敏感结构进行了理论建模,并用COMSOL MULTIPHYSICS有限元软件对理论公式进行了修正,接着通过JDBT实验得到了不