离散半球体电阻式气体传感器的研究

来源 :传感器与微系统 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liyongrubylian
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提出了一种新型气体传感器敏感结构模型,即在传统连续平面敏感结构的基础上,将连续平面敏感结构的上半部分离散化,使之成为离散半球体阵列结构,建立半球体的扩散方程,分析了具有新型和传统型敏感结构的传感器的响应时间,并进行比较,说明具有离散半球体阵列敏感结构的传感器具有更快的响应速度。
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