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利用低压-金属有机汽相外延（LP-MOCVD）工艺首先在二氧化硅衬底上生长硫化锌（ZnS)薄膜，然后，将硫化锌薄膜在氧化中于不同温度下进行热氧化，制备出高质量的纳米氧化锌（ZnO)薄膜，X射线衍射（XRD）结果表明，氧化锌具有六角纤锌矿晶体结构，900℃氧化样品的光致发光（PL）谱中，在波长为3.3eV处观察到一束引紫外光致发光和相当弱的深能级发射，紫外发光强度与深能级发射强度之比是80，表明纳米ZnO薄膜的高质量结晶。在受激发射实验中观察到紫外激光发射。