大面积洁净室

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zzdlily_6000

【摘要】

：

叙述洁净室概况和性能指标,并介绍了高效过滤器的液槽密封、活动格栅、高效过滤器组对检测等。 Describes the clean room overview and performance indicators, and intro

【作者】

：

申连江

【出处】

：

半导体光电

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

洁净室高效过滤器空气处理性能指标回风系统空调系统送风管空气调节空调机房冷冻站

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叙述洁净室概况和性能指标,并介绍了高效过滤器的液槽密封、活动格栅、高效过滤器组对检测等。 Describes the clean room overview and performance indicators, and introduced the high efficiency filter tank seal, active grille, high efficiency filter group test.

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