应变p型Si_(1-x)Ge_x层中载流子冻析

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本文用解析的方法研究了应变P型Si_(1-x)Gex层中载流子冻析现象.研究发现,用Si归一化的Si(1-x)Gex价带有效态密度,随x的增加而减小,而且温度T越低,随Ge组份x的增加而减少的速度越快与Si相比,常温下Ge组份x几乎对电离杂质浓度没有什么影响,而在低温下,随Ge组份x的增加,电离杂质浓度随之增加,载流子冻析减弱,这对低温工作的Si(1-x)Gex器件有利. In this paper, the phenomenon of carrier freezing in strained p-type Si_ (1-x) Gex layers has been investigated by analytical method. The results show that the effective density of Si (1-x) Gex valences normalized with Si decreases with the increase of x, and the lower the temperature T, the faster decreases with the increase of Ge x Si at room temperature Ge composition x almost no effect on ionized impurity concentration, and at low temperature, with the Ge component x increases, ionized impurity concentration increases, the carrier cryogenic reduction, which low-temperature work Si (1-x) Gex devices.
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