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半导体技术的迅速发展,对于高纯金属的靶材有着很大的需求,其中高纯铜靶材受到了极大的关注,而高纯铜对于纯度的要求很高,因此高纯铜中杂质含量的测定很有必要,国际上对于高纯铜中碳含量的要求是0.0001%,对于如何准确测定高纯铜中的碳含量做了方法探究,比较了分别用丙酮和硝酸前处理的高纯铜的测试,选取了同批次不同位置的样本来进行测试,并对测试结果进行比较分析。