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反应磁控溅射的进展
反应磁控溅射的进展
来源 :真空 | 被引量 : 0次 | 上传用户:WSFLTS
【摘 要】
:
反应磁控溅射被广泛应用于制备化合物薄膜。本文分析了反应磁控溅射中迟滞效应、靶中毒与打火现象 ,讨论了提高反应磁控溅射沉积速率、抑制靶面打火与保持溅射过程稳定性的途
【作 者】
:
茅昕辉
陈国平
蔡炳初
【机 构】
:
上海交通大学微纳米科学技术研究院!上海200030,东南大学薄膜研究所!江苏南京210096,上海交通大学微纳米科学技术研究院!上海200030
【出 处】
:
真空
【发表日期】
:
2001年04期
【关键词】
:
反应磁控溅射
中频溅射
脉冲溅射
化合物薄膜
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反应磁控溅射被广泛应用于制备化合物薄膜。本文分析了反应磁控溅射中迟滞效应、靶中毒与打火现象 ,讨论了提高反应磁控溅射沉积速率、抑制靶面打火与保持溅射过程稳定性的途径。在阐述了近年来反应磁控溅射最新研发进展的基础上 ,介绍了中频溅射在减反膜、高反膜和低辐射率膜工业化生产中的应用
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