【摘 要】
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为研究磁过滤阴极电弧沉积无氢类金刚石(Ta-C)涂层及气相沉积含氢类金刚石(含氢DLC)涂层的成分、结构及力学特性,以及两种涂层对刀具高速切削铝合金性能的影响。采用高分辨率
【机 构】
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上海应用技术大学上海物理气相沉积（PVD）超硬涂层及装备工程技术研究中心
【基金项目】
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上海市科委重点支撑计划(170905038000)
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为研究磁过滤阴极电弧沉积无氢类金刚石(Ta-C)涂层及气相沉积含氢类金刚石(含氢DLC)涂层的成分、结构及力学特性,以及两种涂层对刀具高速切削铝合金性能的影响。采用高分辨率的显微镜观察膜层的表面形貌;Raman光谱分析sp~2/sp~3键角混乱度和sp~2团簇信息,以及sp~3-C/sp~2-C的比例关系;纳米压痕仪测量膜层的硬度;高速铣削实验表征涂层刀具的切削性能并分析刀具的失效原因及工件的加工质量。结果表明,Ta-C涂层表面致密光滑,表面颗粒细小,无明显凹坑,Ta-C和含氢DLC涂层在Raman光谱中
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