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在扫描电子显微观察的同时，用ＥＤＳ测量薄膜的厚度及其元素的深度分布［１，２］简便可行。薄膜厚度的测量例１．载玻片上的ＣｏＣｕ膜。对载玻片、Ｃｕ底膜和ＣｏＣｕ膜，用ＥＤＳ分别进行了测量，其数据列入表１。根据电子在膜中的穿透深度（４０ｋＶ时在Ｃｕ膜中穿透...
用EDS测量薄膜的厚度及其元素的深度分布
【摘 要】
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在扫描电子显微观察的同时，用ＥＤＳ测量薄膜的厚度及其元素的深度分布［１，２］简便可行。薄膜厚度的测量例１．载玻片上的ＣｏＣｕ膜。对载玻片、Ｃｕ底膜和ＣｏＣｕ膜，用ＥＤＳ分别进行了测量，其数据列入表１。根据电子在膜中
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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1998年5期
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