TiO_(2)对中空硅减反射涂层硬度的影响

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【摘要】

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目的提高中空硅减反射(AR)涂层的硬度。方法采用溶胶-凝胶法制备中空二氧化硅纳米微球(HSNs)胶体溶液,通过异丙醇钛(TTIP)的水解缩合作用,在HSNs表面沉积纳米TiO2后,制备HSNs

【作者】

：

黄粉超焦剑程皓王瑾王佳

【机构】

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西安超码科技有限公司,西北工业大学

【出处】

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表面技术

【发表日期】

：

2021年4期

【关键词】

：

减反射涂层溶胶-凝胶中空SiO2 纳米TiO2 硬度透射率 AR coatings sol-gel

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目的提高中空硅减反射(AR)涂层的硬度。方法采用溶胶-凝胶法制备中空二氧化硅纳米微球(HSNs)胶体溶液,通过异丙醇钛(TTIP)的水解缩合作用,在HSNs表面沉积纳米TiO2后,制备HSNs@TiO2胶体溶液。将HSNs@TiO2胶体溶液与酸性硅溶胶(ACSS)复合,制备HSNs@TiO2/ACSS减反射液,通过旋涂法在玻璃基板上制备相应的AR涂层。通过特高分辨率场发射扫描电子显微镜、高分辨透射电子显微镜和原子力显微镜对HSNs和HSNs@TiO2纳米粒子的形貌进行分析,通过紫外-可见分光光度计和纳米压

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