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大型真空装置漏放率的动态质谱测量法
大型真空装置漏放率的动态质谱测量法
来源 :核聚变与等离子体物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:habenladan
【摘 要】
:
根据质谱分析技术和气体动力学方程,提出了一种用质谱测量法对大型真空装置漏放率的测试方法.结合计算机技术能对装置运行状态的漏放率进行巡回检测,并成功地应用于HL-1M装置
【作 者】
:
王志文
谢世标
韦卫星
【机 构】
:
广西民族学院
【出 处】
:
核聚变与等离子体物理
【发表日期】
:
2005年3期
【关键词】
:
质谱分析
漏放率
检测
QMS analysis Leak and outgassing rateMeasurement
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根据质谱分析技术和气体动力学方程,提出了一种用质谱测量法对大型真空装置漏放率的测试方法.结合计算机技术能对装置运行状态的漏放率进行巡回检测,并成功地应用于HL-1M装置.
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