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研究了硅片抗变强度，提出了一种圆片冲击宣测定硅片抗弯强度的方法，讨论了其准确度及精度并通过实验进行了偏离小挠度的校准．
硅片的抗弯强度及其测量
【摘 要】
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研究了硅片抗变强度，提出了一种圆片冲击宣测定硅片抗弯强度的方法，讨论了其准确度及精度并通过实验进行了偏离小挠度的校准．
【机 构】
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中南工业大学应用物理系
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1995年8期
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