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原子力显微镜在纳米粗糙度测量中的应用
原子力显微镜在纳米粗糙度测量中的应用
来源 :光学仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sunhan88
【摘 要】
:
介绍了用于纳米量级表面粗糙度测量的原子力显微系统.着重讨论了实现这种测量的软件实现方法.实验结果表明,该系统可以测量任意横向或纵向截面的线粗糙度,同时还可以测量任一
【作 者】
:
陈英飞
章海军
张冬仙
【机 构】
:
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
【出 处】
:
光学仪器
【发表日期】
:
2003年4期
【关键词】
:
表面粗糙度
线粗糙度
面粗糙度
纳米尺度形貌
原子力显微镜
测量
atomic force microscopenanometerroughness
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介绍了用于纳米量级表面粗糙度测量的原子力显微系统.着重讨论了实现这种测量的软件实现方法.实验结果表明,该系统可以测量任意横向或纵向截面的线粗糙度,同时还可以测量任一区域的面粗糙度,并且在X、Y、Z三个方向上的表面粗糙度测量精度均已达到纳米量级,完全满足纳米尺度形貌研究要求.
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