动态检定用的激光光电显微镜

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一、引言线纹尺作为长度工作基准,要有一个装置用来确定尺子上的刻线相对一参考线之间的位置。使用的最简便的仪器就是具有10~20倍的光学读数显微镜。定位的方式,就是用双刻线。双刻线的间距为线宽2~5倍。这种方法的最好对准准确度约为±0.1微米。而已研制的光电显微镜,有的灵敏度可高达 I. INTRODUCTION As a benchmark for working length, a ruler should have a mechanism to determine the position of the ruler on the ruler relative to a reference line. The easiest instrument to use is an optical reading microscope with 10 to 20 times. Positioning method is to use double engraved line. Double-line spacing of 2 to 5 times the line width. The best alignment accuracy for this method is about ± 0.1 microns. The already developed optical microscope, and some sensitivity up to
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