微机械薄膜残余应力研究

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dashaomai

【摘要】

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阐述了薄膜残余应力对MEMS器件结构的影响及其产生根源、测量技术与控制技术,对多层薄膜结构中热应力的产生进行了有限元建模和理论分析.通过对一种残余应力测量结构(微旋转

【作者】

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虞益挺苑伟政乔大勇

【机构】

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西北工业大学微/纳米系统实验室

【出处】

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微细加工技术

【发表日期】

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2005年2期

【关键词】

：

微机电系统薄膜残余应力微旋转结构应变相消快速热退火 <Keyword>MEMS residual stresses of thin film

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阐述了薄膜残余应力对MEMS器件结构的影响及其产生根源、测量技术与控制技术,对多层薄膜结构中热应力的产生进行了有限元建模和理论分析.通过对一种残余应力测量结构(微旋转结构)的仿真分析表明,旋转梁端的偏移量与残余应变成线性对应关系.最后,简单介绍了沉积工艺条件、应变相消法以及快速热退火在薄膜残余应力控制中的应用.

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