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介绍了一种新型工程表面粗糙度两用测量系统的设计原理，仪器结构及测量结果。该系统可采用接触法两种测量方式，接触法测量范围±１００μｍ最小分辨率国０．００５μｍ；非接触法测量范围达±２５０μｍ，最小分辨率为０．０１μｍ。
工程表面粗糙度两用测量系统
【摘 要】
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介绍了一种新型工程表面粗糙度两用测量系统的设计原理，仪器结构及测量结果。该系统可采用接触法两种测量方式，接触法测量范围±１００μｍ最小分辨率国０．００５μｍ；非接触法测量范围达±
【机 构】
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华中理工大学机械学院
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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1999年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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