【摘 要】
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本文介绍了用MOS工艺制作的直接栅电场敏感FET,对其敏感特性进行了实验研究和理论分析.室温下,用此器件在空气中检测电场时,在外加电场小于空气击穿场强的范围内,器件的电流-
【机 构】
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西安交大半导体教研室,西安交大半导体教研室,西安交大半导体教研室
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本文介绍了用MOS工艺制作的直接栅电场敏感FET,对其敏感特性进行了实验研究和理论分析.室温下,用此器件在空气中检测电场时,在外加电场小于空气击穿场强的范围内,器件的电流-电场跨导大于2μA/(kV/cm).用直接栅FET和普通MOSFET作差分对,利用栅绝缘层上压降正比于外电场的原理,用反馈和差分放大组合电路制作电场传感器.得到了0.2V/ (kV/cm)的线性输出.
In this paper, the direct-gate electric field-sensitive FET fabricated by MOS technology is introduced and its sensitive characteristics are experimentally studied and theoretically analyzed.When the electric field is detected in air at room temperature, the applied electric field is less than the range of air breakdown field The current-electric field transconductance of the device is greater than 2μA / (kV / cm). Using a direct-gate FET and a normal MOSFET as a differential pair, the voltage drop across the gate insulating layer is proportional to the external electric field. The feedback and differential amplification circuit The electric field sensor was fabricated and a linear output of 0.2V / (kV / cm) was obtained.
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