晶片键合技术及其在垂直腔型器件研制中的应用

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叙述了晶片键合技术的发展概况、基本原理和基本方法,分析了实现长波长垂直腔型器件的难点.最后介绍了晶片键合技术在长波长垂直腔型器件研制中的应用.
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