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介绍了一种以光纤布拉格光栅为传感元件的三维测头。测头结构核心为3根悬丝和支架组成的柔性支撑系统，传感系统由3根传感FBG和一根匹配FBG光栅组成。测头的关键参数测定结果为结构复位性精度小于20nm，传感系统重复性小于0．2mV，分辨力小于0．1μm，测力小于5mN。
光纤布拉格光栅三维测头
【摘 要】
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介绍了一种以光纤布拉格光栅为传感元件的三维测头。测头结构核心为3根悬丝和支架组成的柔性支撑系统，传感系统由3根传感FBG和一根匹配FBG光栅组成。测头的关键参数测定结果为
【机 构】
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合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
【出 处】
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计量学报
【发表日期】
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2010年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金（50627501）
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