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通过实例研究和近期报道的文献，论述了热驱动微光学的研究进展。驱动器主要通过应用在液体和液气界面的压力来调控光学微流体，包括微镜片和薄膜微透镜，热驱动器利用芯片上的温度变化产生所需要的压力差，从而对微透镜进行调控。同时还讨论了用于微光学结构的各种设备、结构、液体和膜材料，并提供了典型操作特性。
热驱动微光学
【摘 要】
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通过实例研究和近期报道的文献，论述了热驱动微光学的研究进展。驱动器主要通过应用在液体和液气界面的压力来调控光学微流体，包括微镜片和薄膜微透镜，热驱动器利用芯片上的温度
【机 构】
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德国弗莱堡大学微系统工程系,西北工业大学
【出 处】
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中国光学
【发表日期】
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2014年2期
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