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以3-三氯锗丙酸和正硅酸乙酯为原料, 通过水解、缩聚凝胶热处理及氢气反应, 在SiO2凝胶玻璃中析出立方相Ge纳米晶, 当x=30时, 凝胶玻璃中除了析出立方相Ge纳米晶外, 还析出六方相GeO2. 利用XRD测试了Ge纳米晶的大小, 发现随着掺杂量的增加, 纳米颗粒粒径从1 nm增大到10 nm. 电子衍射表明镶嵌在SiO2凝胶玻璃中的Ge纳米晶为多晶结构.