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采用4-甲基苯酚、3-甲基苯酚与甲醛,经两步法反应制备了一系列正性光致抗蚀剂用酚醛树脂.制备的酚醛树脂的重均相对分子质量及相对分子质量分布分别在(5~17)×103和2.75~11.67范围内.探讨了甲醛用量、反应时间、催化剂用量、水选对相对分子质量及相对分子质量分布的影响.增加甲醛和催化剂用量将使相对分子质量增大、相对分子质量分布变宽.延长反应时间也将使相对分子质量分布变宽.但增加水洗次数将使相对分子质量减小相对分子质量分布变窄.结果表明,通过改变反应条件可有效地控制酚醛树脂的相对分子质量及相