电子回旋共振-微波等离子体化学气相沉积法制备a-C∶H(N)薄膜

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【摘要】

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采用电子回旋共振-微波等离子体化学气相沉积技术,使用CH4和N2混合气作为反应气体,在硅衬底上制备掺氮含氢非晶碳(a-C∶H(N))薄膜.紫外Raman光谱证实了薄膜的类金刚石特性;傅

【作者】

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李新唐祯安马国佳邓新绿

【机构】

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大连理工大学电子工程系,微系统研究中心,辽宁,大连,116024大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,辽宁,大连,116024;

【出处】

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真空

【发表日期】

：

2003年5期

【关键词】

：

a-C∶H(N)薄膜电子回旋共振-微波等离子体化学气相沉积微电子机械系统

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采用电子回旋共振-微波等离子体化学气相沉积技术,使用CH4和N2混合气作为反应气体,在硅衬底上制备掺氮含氢非晶碳(a-C∶H(N))薄膜.紫外Raman光谱证实了薄膜的类金刚石特性;傅立叶变换红外光谱表明薄膜中存在CH和CN键结构.采用原子力显微镜(AFM)观察薄膜的微观表面形貌,结果表明薄膜表面光滑.论文详细叙述了薄膜制备工艺,对测试结果进行了分析讨论,也对这种薄膜在微电子机械系统中的潜在应用进行了探讨.

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