【摘 要】
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一、引言业已证明,产生菲索干涉条纹图形(TOLANSKY 1960)的多光束光干涉适用于测量蒸镀在平面度较差的光学表面上的薄膜厚度。采用此技术,需先在被测量的膜上敷上一层不透明
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一、引言业已证明,产生菲索干涉条纹图形(TOLANSKY 1960)的多光束光干涉适用于测量蒸镀在平面度较差的光学表面上的薄膜厚度。采用此技术,需先在被测量的膜上敷上一层不透明的高反射率银膜,然后将这个膜与镀有同样材料的半反射参考平面构成一个小的倾斜角
I. INTRODUCTION It has been demonstrated that the multi-beam interference of light generating FESOL pattern (TOLANSKY 1960) is suitable for measuring the film thickness of vapor deposited on poorly flat optical surfaces. Using this technique, an opaque, high-reflectivity silver film is applied to the film to be measured and this film is then formed into a small tilt angle with a semi-reflective reference plane plated with the same material
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This paper describes the generation of superimposed inte
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