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为了有效分析工艺波动对互连性能的影响，本文基于对数正念分布函数提出了一种RLC互连延时统计模型。在给定互连参数波动范围条件下，首先得到了电路矩的表达式，然后推导出了RLC互连延时均值和标准差。针对65nm和45nm的RLC互连树进行了验证，和HSPICE相比，采用本文方法计算得到的互连延时均值和标准差误差分别低于1％和5％。仿真表明本文方法具有足够的效率平和精度。