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针对高温稠密激光等离子体临界密度附近电子密度的诊断需求,发展了基于软X射线激光的软X射线双频光栅干涉诊断技术.利用波长13.9 nm的类镍银软X射线激光作为探针,掠入射式的双频光栅作为分光干涉元件,对激光辐照金平面靶产生的等离子体进行诊断尝试.实验获得了清晰的干涉条纹图像,充分表明该技术的实用性.但结果中存在靶面不清晰等问题,为此,提出了初步的解决方案.