【摘 要】
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描述了氢化非晶硅／铁电液晶空间光调制器的结构和工作原理，并从器件的电学模型出发，着重讨论了整体器件对光敏层的特性要求，对ａ－Ｓｉ：Ｈ薄膜ｐ－ｉ－ｎ光敏层的制作和光电特性进行了研究
The struct
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所,青年光电工程研究中心
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描述了氢化非晶硅／铁电液晶空间光调制器的结构和工作原理，并从器件的电学模型出发，着重讨论了整体器件对光敏层的特性要求，对ａ－Ｓｉ：Ｈ薄膜ｐ－ｉ－ｎ光敏层的制作和光电特性进行了研究
The structure and working principle of hydrogenated amorphous silicon / ferroelectric liquid crystal spatial light modulator are described. Based on the electrical model of the device, the characteristics of the device as a whole are discussed. The properties of the a-Si: H thin film p-i -n photosensitive layer of the production and optoelectronic properties were studied
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