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通过对内圆锯切力进行计算分析，分析了内圆锯片锯切硅晶棒的锯切力特征以及进给速度、主轴转速和工件尺寸等锯切工艺参数对锯切力的影响。由计算分析可知，锯切力是连续变化的，变化特征与接触弧长的变化特征相同，法向锯切力比切向锯切力对锯切加工过程的影响更显著；锯切工艺参数对内圆锯切力的影响明显，对锯切工艺参数进行合理选择和优化改善接触弧长，可有效改善锯切力状态，保证锯切加工过程的平稳性。