【摘 要】
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文章以理论分析为基础,对孔阵列中孔数量、孔线间距、孔径大小、孔线排布的走向等因素在碱性蚀刻中对线宽的影响进行了初步分析,确定了孔阵列中对线宽影响的主要因素,为解决
【机 构】
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文章以理论分析为基础,对孔阵列中孔数量、孔线间距、孔径大小、孔线排布的走向等因素在碱性蚀刻中对线宽的影响进行了初步分析,确定了孔阵列中对线宽影响的主要因素,为解决孔间线细问题提供了一定价值的参考。
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