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提出了一种膜厚修正挡板的设计方法，分析给出了使用挡板情况下基片膜厚和监控片膜厚的关系，对线性渐变滤光片镀制挡板进行了设计，给出了设计结果。用设计的挡板成功镀制了线性渐变滤光片，并给出了镀制结果。
线性渐变滤光片镀制挡板设计
【摘 要】
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提出了一种膜厚修正挡板的设计方法，分析给出了使用挡板情况下基片膜厚和监控片膜厚的关系，对线性渐变滤光片镀制挡板进行了设计，给出了设计结果。用设计的挡板成功镀制了线性渐
【机 构】
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兰州物理研究所
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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2007年1期
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