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采用低压等离子体化学气相沉积法（LPPCVD），在塑料微球表面制备了非晶碳氢（α-C：H）薄膜．利用光学显微镜、原子力显微镜（AFM）和扫描电子显微镜（SEM）对薄膜的表面形貌进行了分析．主要研究了芯轴表面形貌、碰撞、反弹盘表面材料、薄膜厚度等四个因素对微球CH涂层表面形貌的影响．结果表明：芯轴表面形貌对CH涂层的表面形貌影响很大，改善芯轴表面形貌可提高涂层表面光洁度；当反弹盘的表面材质不同时，制备出的微球涂层的表面粗糙度有不同程度的差别；碰撞是引起微球CH涂层表面榴状突起的重要原因之一；微球CH涂层表面