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通过控制乙炔与氮气流量比和冷却方式，采用多弧等离子体辅助物理气相沉积法（PVD），制备了不同比电容的TiCN涂层铝箔，借助比容测试仪、发射扫描电镜、X射线衍射分析仪及电子探针等，检测其比电容及显微形貌、晶体结构和化学成分。结果表明，PVD法可以获得高比电容铝箔（1674×10^-6F／cm^2）；采用液氮快速冷却方式可以获得非晶态的TiCN纳米涂层，比电容比随炉冷却的约提高两倍；乙炔和氮气体积流量比为1：1较之1：0．5时，铝箔的比电容提高1,5～2．5倍。