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将微热板与静电梳齿执行器结合,设计出一种恒温加热状态下调节气敏薄膜（SnO_2）应力的系统结构。采用有限元软件（COMSOL Multiphysics）仿真分析了不同温度下器件的形变、气敏薄膜中的应力分布及其调节范围。仿真结果表明,气敏薄膜中的应力随着静电梳齿执行器驱动电压的升高而下降,成功实现对气敏薄膜中应力分布的调节,该结构可用于应力对薄膜气敏特性影响的研究。