【摘 要】
：
本文用椭偏光谱测量与阳极氧化剥层相结合的方法,测量了注入能量150keV、注入剂量在10~(13)-10~(16)cm~(-2)范围内的As~+注入Si损伤层的光学性质,得到了光学常数n、k在损伤层
论文部分内容阅读
本文用椭偏光谱测量与阳极氧化剥层相结合的方法,测量了注入能量150keV、注入剂量在10~(13)-10~(16)cm~(-2)范围内的As~+注入Si损伤层的光学性质,得到了光学常数n、k在损伤层内的分布,并用有效介质理论计算出损伤分布.所得损伤分布与损伤理论进行了比较,两者基本一致.
In this paper, the combination of ellipsometry and anodization was investigated. The results show that As (superscript +) implanted Si at 150 keV and implantation dose of 10 ~ (13) -10 ~ (16) cm ~ The optical properties of the damaged layer are obtained, and the distribution of the optical constants n and k in the damaged layer is obtained. The damage distribution is calculated by using the effective medium theory. The damage distribution is compared with the damage theory and the two are basically the same.
其他文献
本文介绍采用辉光放电(G.D)法淀积含氢非晶硅(α-Si:H),并将其应用于硅器件的表面钝化,结果表明,采用α-Si:H钝化,特别是以α-Si:H作为SiO_2的二次钝化层,可使器件的表面态密
一来到戛纳,你就会明白为什么电影节不选择时尚之都巴黎,却选择了仅有7万人口的小镇戛纳。它精巧、典雅、迷人,拥有世界上最洁白美丽的沙滩和终年的阳光,白色的楼房、蓝色的大海、一排排高大翠绿的棕榈树构成一派绚丽的地中海风光,难怪最佳影片的大奖命名为“金棕榈奖”。 法国东南部的沿海小镇戛纳,和其他蓝色海岸地区的闲适安静不同,它虽然也拥有蔚蓝迷人的海岸线和法国南部明亮阳光下的棕榈树,但戛纳更像是一个社
绿化建设是反映一个城市文明化程度的重要标志之一。近年来,随着经济建设的发展和国家城市化建设步伐加快,尤其我国加入世贸组织之后,对外开放,给园林部门提出了新的要求。面
新一轮课程改革倡导“一切为了学生发展”，目的是培养学生的创新精神和实践能力，从而全面推进和实施素质教育。它既是对班主任智慧与创造的挑战，又是班主任自我发展的新机遇。新
ELDO是一个新的电路模拟程序,它具有两个主要特点:——对有待计算的节点排序和预测,不需要额外的计算时间,节点预测过程实现了对松弛技术的改进。——排除了模型和宏模型的微
初见杨娇,是在2006年河南宝丰,正值一年一度的民间说唱集会——宝丰马街书会和河南坠子尖子人才高级研修班如火如荼进行中。那时的她青春逼人,俏皮可人,一段河南坠子《刘金锭
美国贝尔通信研究公司的科学家经多年研究和试验,最近发表一项晶体材料制作工艺流程技术,用以生产高纯度半导体材料.这项工艺技术在薄片上生成晶体层程序中,放弃了传统的制作
你一定熟悉克林特·伊斯特伍德塑造过的各种银幕形象,可是还有十件是你绝对不知道的。1他导演的影片比斯皮尔伯格和乔治·卢卡斯要多千真万确。伊斯特伍德2008年有2部影片,20
目前在初中思想品德课的新课改中,虽取得一定成效,但是也存在着学生兴趣、教学效率和质量不高等问题。如何改变目前的这种现状,是思想政治教育领域广大工作者长期研究的课题
七月上旬正值酷暑。冒着似火的骄阳。我们乘汽车从武汉出发,经四个半小时的长途跋涉,在极度困乏时,悄然驶进石首市。经过一夜的休整,第二天终于按奈不住兴奋的心情,一大早就