【摘 要】
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报导了由选择氧化法研制的ＧａＡｓ／ＡｌＧａＡｓ垂直腔面发射激光器，ＤＢＲ中的ＡｌＡｓ经选择氧化形成的氧化层作为有源区的横向电流限制层，器件的最低阈值电流为３．８ｍＡ，输出功率大于ｌｍＷ，发散角小于７．８°，高频测量脉冲上升沿达１００ｐｓ，并
【机 构】
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中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室
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报导了由选择氧化法研制的ＧａＡｓ／ＡｌＧａＡｓ垂直腔面发射激光器，ＤＢＲ中的ＡｌＡｓ经选择氧化形成的氧化层作为有源区的横向电流限制层，器件的最低阈值电流为３．８ｍＡ，输出功率大于ｌｍＷ，发散角小于７．８°，高频测量脉冲上升沿达１００ｐｓ，并由此器件制成了２×３二维列阵。
The GaAs / AlGaAs vertical-cavity surface-emitting laser developed by selective oxidation method is reported. The oxide layer formed by the selective oxidation of AlAs in the DBR is used as the lateral current confinement layer in the active region. The minimum threshold current of the device is 3.8mA and the output power Greater than 1mW, the divergence angle is less than 7.8 °, the rising edge of the high-frequency measurement pulse reaches 100ps, and the device is made into a 2 × 3 two-dimensional array.
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