基于柔性机构的精密调平调心平台设计与分析

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高精度调平调心工作台是精密测量设备上最重要的附件之一。文中基于柔性铰链实现了正交2维调平机构的一体化设计,将平行四边形柔性导向机构进行嵌套实现2维平动调心功能。分析了角度调节的具体操作过程,计算了偏转角度与驱动进给位移的关系,加工了调平调心平台样机。试验操作显示该平台具有结构简单、刚度大、无噪声、调节柔和、成本低等优点。 High-precision leveling is the heart of the precision measurement equipment is one of the most important accessories on the device. In this paper, the integrated design of orthogonal 2-dimensional leveling mechanism is realized based on the flexible hinges, and the parallelogram flexible guide mechanism is nested to realize the 2-dimensional translational aligning function. The specific operation process of angle adjustment was analyzed. The relationship between deflection angle and driving feed displacement was calculated and the prototype of leveling platform was processed. The test operation shows that the platform has the advantages of simple structure, large rigidity, no noise, gentle adjustment and low cost.
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