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简述了集成电路制造中的湿法工艺，重点介绍了栅氧清洗、RCA清洗、去胶、氮化硅去除、氧化硅腐蚀等湿法工艺，并对槽式湿法设备的关键制造技术进行了讲解。
集成电路湿法工艺与湿法设备制造技术研究
【摘 要】
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简述了集成电路制造中的湿法工艺，重点介绍了栅氧清洗、RCA清洗、去胶、氮化硅去除、氧化硅腐蚀等湿法工艺，并对槽式湿法设备的关键制造技术进行了讲解。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2022年02期
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