【摘 要】
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本文描述了一种得到无重构的理想的氢终止Si（111）表面的化学处理方法，用这种方法得到的表面，可以用低能电子衍射谱仪（LEED）进行结构研究。本实验使用我们自己设计加工的电子背轰击
【机 构】
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本文描述了一种得到无重构的理想的氢终止Si（111）表面的化学处理方法，用这种方法得到的表面，可以用低能电子衍射谱仪（LEED）进行结构研究。本实验使用我们自己设计加工的电子背轰击式加热器，作品可加热到800℃以上，亦可冷却到液氮温度。文中对氢终止Si（111）表面的研究的初步结果作一概述，给出了表面覆盖氢化物的LEED研究证据。
In this paper, we describe a chemical process that yields an ideal, hydrogen-terminated Si (111) surface without reconstitution. The surfaces obtained by this method can be structurally studied by low energy electron diffraction (LEED) spectroscopy. This experiment uses our own design and processing of electronic back bombardment heaters, works can be heated to above 800 ℃, can also be cooled to liquid nitrogen temperature. In this paper, the preliminary results of the hydrogen terminated Si (111) surface are summarized, and the evidence of the LEED study of surface covered hydride is given.
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